一、用途: |
干涉顯微鏡是用來測量精密加工零件(平面、圓柱等外表面)光潔度 |
的儀器,也可以用來測量零件表面刻線,鍍層等深度。 |
該儀器配有各種附件,還能測量粒狀、加工紋路混亂的表面及低反射率 |
的工件表面。同時還能將儀器安置在工件上,對大型工件表面進行測量。 |
儀器測量表面不平深度范圍為1~0.03微米,用測微目鏡和照相方法 |
來評定▽10~▽14光潔度的表面。 |
干涉顯微鏡適用于廠礦企業(yè)計量室、精密加工車間,也適用于高等院校、 |
科學研究等單位。 |
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二、主要技術規(guī)格: |
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測量表面光潔度范圍(表面粗糙度) ▽10~▽14 |
工作物鏡的數(shù)值孔徑 |
0.65 |
工作距離 |
0.5毫米 |
儀器的視場 |
目視 |
φ0.25毫米 |
照相 |
0.21×0.15毫米 |
儀器的放大倍數(shù) |
目視 |
500倍 |
照相 |
168倍 |
測微目鏡放大倍數(shù) |
12.5倍 |
工作臺升程 |
5毫米 |
X、Y方向移動范圍 |
≈10毫米 |
旋轉運動范圍 |
360° |
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三、儀器配置: |
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1、儀器主體 1臺 |
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2、12.5X測微目鏡 1件 |
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3、狹縫目鏡 1件 |
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4、V型塊 1件 |
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5、6V/5W燈泡 2件 (備用) |
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6、變壓器 1只 |
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7、試樣夾 1件 |