【雙旭牌】代理商DH-QGA-2 四極質(zhì)譜氣體分析儀
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多功能微波等離子體實驗裝置由微波源、真空系統(tǒng)、供氣系統(tǒng)、冷卻系統(tǒng)、微波傳輸及微波諧振腔組成;由微波源產(chǎn)生頻率為2.45GHz的微波,沿矩形波導(dǎo)管傳輸,在水冷諧振腔反應(yīng)室內(nèi)激勵氣體形成軸對稱的等離子體球?赏瓿梢韵聦嶒灒何⒉ǖ入x子體化學氣相沉積法制備多種功能薄膜材料、微波等離子體刻蝕加工實驗、材料表面改性和清洗等;適合大學物理、材料、化學等域的學生實驗及教師科學研究。
直流輝光等離子體實驗裝置由可拆卸的氣體放電管、測量系統(tǒng)、真空系統(tǒng)、進氣系統(tǒng)和水冷系統(tǒng)等部分組成;工作氣體、工作氣壓、電極距離等參數(shù)均可靈活地調(diào)控。可完成的實驗有:湯森電離系數(shù)a及比值a/p的測定;直流低氣壓放電現(xiàn)象觀察及伏安曲線的測量;氣體擊穿電壓的測定及帕邢定律驗證實驗。
微波CVD薄膜制備裝置為一高效微波等離子體化學氣相沉積制備設(shè)備,可用于生長金剛石薄膜、碳納米管、氮化硅、碳化硅等超硬膜,具有生長速度快、操作簡便、性價比高等優(yōu)點。適合大學物理、材料、化學等域的學生實驗及教師科學研究。
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